電子級氫氟酸的生產難點
- 2021-11-13-
1.對分析控制和產品測試有較高的要求。用于制備電子級氫氟酸的測試儀器如下:(1)電感耦合等離子體高頻質譜(ICP-MS);(2)電感耦合等離子體原子發射分析儀(ICP-AES);(3)原子吸收分光光度計;(4)氧原子發生;無焰原子吸收分析儀;(5)離子色譜分析儀;(6)激光散射液體粒子計數器;(7)水面雜質分析系統;(8)原子間力顯微鏡;(9)光學顯微鏡粒子計數器;(10)掃描電鏡;(11)光學薄膜厚度測量和表面輪廓儀;(12)表面張力測試儀;(13)空氣中塵埃粒子探測器;(14)水力電阻率測試儀。
2.對水質要求高,要求水的電阻率≥ 18.0mΩ·cm。
高純水是生產電子級氫氟酸不能少的原料,也是包裝容器的清洗劑。其純度將直接影響電子氫氟酸的產品質量。高純水的主要控制指標是電阻率和固體顆粒。其他輔助指標包括總氧化碳(TOC)、細菌、溶解二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產工藝相對成熟,通常先通過分離
普通純水通過亞交換柱和微濾器獲得,然后通過反滲透和電滲析等多種膜技術進一步處理。然后將殺菌和超細過濾相結合,可獲得高純水。
3.主要生產設備材料、設備制造工藝、包裝工藝要求相對嚴格。
4.工廠、分析室、倉庫等環境的清潔度要求高,與成品接觸部位達到100級。
5.整個生產過程對產品質量管理有較高的要求。
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