電子級氫氟酸用于制造集成電路和大規模集成電路。氫氟酸是晶圓加工中的關鍵輔助材料之一,主要用于晶圓表面的清洗、清洗和蝕刻。在太陽能光伏產業中,它被用于硅片表面清洗、蝕刻劑等領域。該產品將用于從硅錠到硅片再到電池片的過程:清潔和絲絨生產。在LCD行業,它用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕刻劑等。它還廣泛應用于TFT-LCD和半導體行業。還可用作分析試劑、原子能工業的化學試劑和純度較高的含氟化學品的制備。
產品分類:
電子級氫氟酸按用途不同可分為UPS、UPS、up、El等品牌。
UPSs:適用于0.09~0.2μM和<0.09μM的IC工藝。
UPS級:適用于0.35-0.80um IC加工工藝,金屬雜質含量小于1.00ug/l,孔徑過濾0.05um,粒徑控制0.20ixm,填充在100級凈化環境中,達到8級標準。
上行:適用于1.00um集成電路和TFT-LCD制造工藝。金屬雜質含量小于10mg/kg。帶有0.20um孔徑過濾器的過濾器,用于控制0.50um顆粒。灌裝100級凈化環境,達到7級標準。
El級:金屬雜質含量小于100mg/kg,粒徑控制在1.00um,達到半C1和C2標準。適用于中小型集成電路和電子元器件的加工工藝。
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