電子級氫氟酸是無色透明液體，相對密度1.15~1.18，沸點112.2℃。它在空氣中散發煙霧，有刺鼻的氣味，并且劇毒。它能與一般金屬、金屬氧化物和氫氧化物反應生成各種鹽。它具有高度腐蝕性，可腐蝕玻璃和硅酸鹽，形成氣態四氟化硅。易溶于水和乙醇，但難溶于其他有機溶劑。高純氫氟酸是一種強酸清洗和腐蝕劑，可配置硝酸、冰醋酸、過氧化氫和氫氧化銨。

　　電子級氫氟酸的制備方法

　　1、 蒸餾法

　　2、 蒸餾

　　3、 亞沸騰蒸餾

　　4、 減壓蒸餾

　　5、 氣體吸收

　　生產過程

　　經過化學預處理后，無水氫氟酸進入蒸餾塔。通過蒸餾操作，獲得的氟化氫氣體在吸收塔中被超純水冷卻和吸收。通過控制噴淋密度和氣液比進一步純化電子氫氟酸，然后在m以下的超濾過程中進行0.2μ的純化，在密閉、清潔的環境條件下灌裝得到產品。

　　用途

　　可用于集成電路和大規模集成電路芯片的清洗和腐蝕。是微電子工業制造過程中的關鍵基礎化學材料之一。也可用作分析試劑和高純度含氟化學品的制備。在我國，它基本上被用作微電子行業的蝕刻劑和清洗劑，在其他方面的消耗較少。

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